Équipement de production microélectronique
Solutions de mesure des vibrations et asservissement des équipements de production de micro-électronique et imagerie médicale
Ajustement des asservissements de positionnement et contrôle de résonnances vibratoire des supports de masques, supports de wafer, vibrations du sol des steppers et imageurs médicaux.
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support de masque
asservissement de position, vitesse et accélération
- Instrument portable multivoies
- Caractérisation d’asservissement par balayage sinusoïdal
- Haute dynamique/haute sensibilité
support de wafer
Stabilité structurelle, contrôle du positionnement asservi
- Instrument portable multivoies
- Logiciel intégré EMA, OMA (solution d’analyse modale)
- Haute dynamique/haute sensibilité
- Excitation forcée/naturelle
Vibration du sol
Ateliers de microélectronique, imageurs médicaux
- Instruments portables et autonomes
- Entrées à haute sensibilité
- Déplacement/vitesse à partir d’accéléromètres
- Résultats 1/3 d’octave en temps réel
- Limites affichées avec les résultats en temps réel
Solutions recommandées par OROS
Analyseur de vibrations du sol
OROS avantages
Surveillance des vibrations pour les installations sensibles
- Instruments portables/mobiles
- Instruments multivoies
- Entrées à haute sensibilité et précision